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電気電子工学科研究者総覧
| 氏名 |
北嶋 武 (Kitajima Takeshi) |
| 職名 |
教授 |
| E-Mail |
kitajima |
| 学位 |
博士（工学）1999年3月
発光CTによるVHF駆動リアクティブイオンエッチャーの
2次元構造診断 |
| 教育科目等 |
基礎電磁気学演習、電気エネルギー工学、気体エレクトロニクス、
電気物理工学特論I（研）
電子機能デバイス特論（研） |
| 専門分野 |
プラズマエレクトロニクス、表面科学 |
| キーワード |
プラズマ診断、表面ナノ構造、量子ドット形成 |
| 著書・論文等 |
- Functional separation of biasing and sustaining voltages in two-frequency capacitively coupled plasma (Appl. Phys. Lett., 77, 2000)
- Two-dimensional periodic alignment of self-assembled Ge islands on patterned Si (001) surfaces (Appl. Phys. Lett., 80, 2002)
- Increased O(1D) Metastable Density in Highly Ar Diluted Oxygen Plasmas (Appl. Phys. Lett., 88, 2006)
- Oxygen Atom Density in Rare Gas Diluted O2 Radio Frequency Plasma (Thin Solid Films, 506-507, 2006)
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| 主要所属学会 |
応用物理学会、電気学会、日本表面科学会 |
| 学術関係受賞 |
1999年11月 応用物理学会講演奨励賞
2007年 3月 奨励賞（防衛大学校学術教育振興会）
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