| 氏名 |
中野 俊樹 (Nakano Toshiki) |
| 職名 |
教授 |
| E-Mail |
tn |
| 学位 |
工学博士 1989年3月
プラズマ重合有機薄膜の電気的性質に関する研究 |
| 教育科目等 |
基礎電磁気学、物理学III、電気物理工学特論II（研） |
| 専門分野 |
気体放電工学、プラズマ工学、高電圧工学 |
| キーワード |
プラズマ診断、レーザ分光計測、プラズマプロセシング |
| 著書・論文等 |
- Estimation of Dissociation Degree of N2 in an Inductively Coupled Plasma by Vacuum Ultraviolet Emission Spectroscopy (J. Appl. Phys., 92, 2002)
- Monitoring of CF and CF２ Number Density by Optical Emission Intensity Corrected Using Probe-Measured Plasma Parameters (Jpn. J. Appl. Phys.，42，2003）
- Optical Diagnostics of a Pulsed Inductively Coupled Nitrogen Plasma （IEEJ Trans. FM，125，2005）
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| 主要所属学会 |
電気学会、応用物理学会、静電気学会、放電学会
American Vacuum Society |
| 学術関係受賞 |
1993年3月 論文発表賞（電気学会）
1994年3月 奨励賞（防衛大学校学術教育振興会）
2004年3月 プラズマエレクトロニクス賞（応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会）
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